ICP-MS'de hatalı sonuçlardan kaçınmak için, tüm reaktifler ve solventler, özellikle de boşlukların, standartların ve numunelerin hazırlanmasında kullanılan su, belirlenen elementlerin eser miktarlarından ve ayrıca etkileyerek potansiyel olarak etkileşime girebilecek diğer safsızlıklardan arındırılmış olmalıdır. plazmadaki iyonlaşma veya ölçülen kütlelerle örtüşme. Daha az duyarlı olan ICP-OES, bu parazitlere daha az eğilimlidir, ancak üretilen karmaşık emisyon spektrumları nedeniyle, spektral örtüşmeler daha yaygındır, bu nedenle su saflığı hayati önem taşır.